👤 В. И. Шевяков
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
В. И. Шевяков
Металлизация ультрабольших интегральных схем
В. И. Шевяков
В. И. Шевяков
Автор