📖 Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности.
Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
О книге
автор, издательство, серия- Издательство
- Лань
- Серия
- Радиоэлектроника и приборостроение
- ISBN
- 978-5-507-45480-8
- Год
- 2023