Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки

📖 Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».

О книге

автор, издательство, серия
Издательство
Лань
Серия
Радиоэлектроника и приборостроение
ISBN
978-5-507-45480-8
Год
2023