📖 Вакуумная ионно-плазменная обработка. Учебное пособие

Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем обьс-ме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств...