📖 Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники. Учебник для бакалавриата и магистратуры

В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники – вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным...