Технологии электронной компонентной базы Учебное пособие

📖 Технологии электронной компонентной базы Учебное пособие

В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

О книге

автор, издательство, серия
Издательство
Ай Пи Эр Медиа
Серия
Университетский учебник
ISBN
9785448602108
Год
2018