📖 Технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
О книге
автор, издательство, серия- Издательство
- Ай Пи Эр Медиа
- Серия
- Университетский учебник
- ISBN
- 9785448602108
- Год
- 2018