📖 Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств

С развитием высоких технологий производства электронных устройств становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе субмикронных монолитных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных...