📖 Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
О книге
автор, издательство, серия- Издательство
- МГТУ им. Н. Э. Баумана
- ISBN
- 978-5-7038-4864-7
- Год
- 2019