📖 Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств,...