📖 Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов

В данном учебном пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для...